Máy phun phủ bán dẫn siêu âm

Máy phun phủ siêu âm chất bán dẫn

Phun phủ nguyên tử hóa siêu âm chất bán dẫn là một công nghệ lắng đọng màng mỏng chính xác, sử dụng năng lượng siêu âm tần số cao để nguyên tử hóa các vật liệu bán dẫn (chẳng hạn như chất cản quang và vật liệu dẫn điện) thành các giọt mịn, đồng đều. Những giọt này sau đó được phun chính xác lên bề mặt đế bằng khí mang, tạo ra lớp phủ màng mỏng chất lượng cao, đồng đều. Công nghệ này mang lại những ưu điểm như hiệu quả cao, độ chính xác cao, tổn thất vật liệu thấp và lớp phủ mỏng, đồng đều. Nó được sử dụng rộng rãi trong sản xuất chất bán dẫn, năng lượng mới và lớp phủ kính, thay thế các phương pháp phun truyền thống.

Nguyên lý hoạt động

1. Nguyên tử hóa siêu âm:

Cốt lõi của thiết bị là vòi phun siêu âm, chứa một bộ chuyển đổi chuyển đổi năng lượng điện thành các rung động cơ học tần số cao.

2. Nguyên tử hóa chất lỏng:

Khi chất lỏng (dung dịch, sol hoặc huyền phù) chảy qua vòi phun, bộ nguyên tử hóa rung tạo ra các rung động. Khi biên độ rung vượt quá sức căng bề mặt của chất lỏng, chất lỏng bị vỡ thành các giọt có kích thước micron.

3. Vận chuyển khí mang:

Các giọt đã được nguyên tử hóa sau đó được vận chuyển đều đến bề mặt đế bằng một lượng khí mang (chẳng hạn như không khí) được xác định trước.

4. Lắng đọng màng mỏng:

Các giọt được lắng đọng trên đế, tạo thành một lớp phủ màng mỏng liên tục.

Ưu điểm trong ứng dụng chất bán dẫn

Độ chính xác và độ đồng đều cao:

Khả năng lắng đọng các lớp phủ màng mỏng siêu mỏng và đồng đều là rất quan trọng đối với các ứng dụng trong sản xuất chất bán dẫn, chẳng hạn như chất cản quang, màng dẫn điện và màng cách điện, đòi hỏi độ chính xác cực cao.

Giảm tổn thất vật liệu:

So với phun truyền thống, phun siêu âm hầu như không tạo ra hiện tượng giọt bắn hoặc bắn tung tóe quá mức, làm tăng khả năng sử dụng vật liệu lên nhiều lần, đặc biệt phù hợp để phủ các vật liệu đắt tiền.

Phun nhẹ nhàng:

Quá trình phun nhẹ nhàng và không làm hỏng đế, phù hợp với các vật liệu bán dẫn dễ vỡ và các linh kiện điện tử.

Vòi phun đa dạng:

Có thể chọn vòi phun có chiều rộng, chiều dài, hình dạng và tốc độ dòng chảy khác nhau để đáp ứng các yêu cầu ứng dụng cụ thể, cho phép phủ đồng đều các khu vực cục bộ hoặc diện tích lớn.