120k siêu âm Photoresist máy phủ phun với nguồn cung cấp chất lỏng ngoài

Máy phun phủ quang trở siêu âm 120k với nguồn cấp liệu lỏng bên ngoài

Phun nguyên tử hóa quang trở là một quy trình cốt lõi trong sản xuất bán dẫn để phủ quang trở chính xác. Nguyên lý cốt lõi là biến đổi quang trở thành các giọt nhỏ thông qua công nghệ nguyên tử hóa, sau đó được lắng đọng đều trên bề mặt wafer, đáp ứng yêu cầu phủ của các wafer có độ chính xác cao, kích thước lớn.

Nguyên lý cốt lõi: Quang trở dạng lỏng được nguyên tử hóa thành các giọt đồng nhất ở quy mô nanomet đến micromet bằng cách sử dụng luồng khí áp suất cao hoặc rung siêu âm.

Các giọt nguyên tử hóa sau đó được vận chuyển bằng luồng khí định hướng, tạo thành lớp phủ mỏng và đồng nhất trên bề mặt wafer, với độ dày được kiểm soát chính xác ở cấp độ nanomet.

Ưu điểm chính: Độ đồng nhất lớp phủ cao, tránh các khuyết tật dày ở mép và mỏng ở tâm của phương pháp phủ ly tâm, đáp ứng yêu cầu của các quy trình tiên tiến.

Hiệu suất sử dụng quang trở cao, giảm lãng phí vật liệu hơn 50% so với phương pháp phủ ly tâm, giảm chi phí sản xuất.

Phù hợp với wafer kích thước lớn (ví dụ: 12 inch trở lên) và địa hình bề mặt phức tạp, mang lại tính nhất quán lớp phủ mạnh mẽ hơn.

Thông số của đầu phun là gì?

Bạn có hình ảnh đầu phun không?

Nguyên tử hóa nano siêu âm sử dụng năng lượng siêu âm để chuyển đổi chất lỏng thành các hạt kích thước nano. Nó có các ứng dụng rộng rãi trong các lĩnh vực y tế và công nghiệp. Dưới đây là mô tả chi tiết:

Nguyên lý
Trong lĩnh vực y tế: Máy phát siêu âm thường tạo ra dòng điện tần số cao, được chuyển đổi thành sóng siêu âm bởi bộ chuyển đổi siêu âm. Dòng điện này sau đó tác động lên chất lỏng thông qua màng siêu âm ở đáy máy phun, làm vỡ thuốc thành các hạt mịn. Cuối cùng, luồng không khí do thiết bị cung cấp khí tạo ra sẽ đưa sương thuốc đến bệnh nhân để hít.
Trong lĩnh vực công nghiệp: Đầu phun siêu âm chuyển đổi sóng âm tần số cao thành năng lượng cơ học, được truyền đến chất lỏng, tạo ra sóng đứng. Chất lỏng sau đó được dẫn qua đầu phun đến bề mặt nguyên tử hóa. Khi thoát ra khỏi bề mặt nguyên tử hóa, chất lỏng bị vỡ thành một lớp sương đồng nhất gồm các giọt kích thước micron, do đó đạt được quá trình nguyên tử hóa.

Đặc điểm
Hạt mịn và đồng nhất: Các hạt nguyên tử hóa được tạo ra thường có đường kính từ 1 đến 5 micron, lơ lửng trong không khí trong thời gian dài và phân bố tương đối đều. Trong lĩnh vực y tế, điều này giúp đảm bảo phân phối tốt hơn đến đường hô hấp dưới và phổi. Trong lĩnh vực công nghiệp, nó có thể đạt được lớp phủ màng mỏng quy mô dưới micron và nano có độ đồng nhất cao. Hiệu quả cao và Tiết kiệm năng lượng: Chất lỏng được chuyển đến đầu phun bằng trọng lực hoặc bơm áp suất thấp, đạt được quá trình nguyên tử hóa liên tục hoặc ngắt quãng. Quy trình này không bị tắc nghẽn, không bị mài mòn, không gây tiếng ồn, không áp suất và không có bộ phận chuyển động. Không cần nước làm mát để nguyên tử hóa, dẫn đến tiêu thụ năng lượng thấp.

Vật liệu và Thân thiện với môi trường: Phun tốc độ thấp, không áp suất dễ dàng kiểm soát, và các giọt rơi xuống chất nền thay vì bật ra khỏi nó, giảm đáng kể lượng phun quá mức, tiết kiệm đáng kể vật liệu và giảm phát thải môi trường.

Khả năng kiểm soát cao: Lưu lượng nguyên tử hóa có thể kiểm soát chính xác, phun liên tục lưu lượng thấp và các mẫu phun dễ kiểm soát và định hình làm cho nó phù hợp với các ứng dụng công nghiệp. Thông qua kết hợp, thể tích nguyên tử hóa có thể được điều chỉnh để đáp ứng mọi yêu cầu của người dùng. Ứng dụng
Y tế: Ví dụ, các thiết bị nguyên tử hóa siêu âm nhãn khoa sử dụng công nghệ này để phân tách thuốc thành các hạt nguyên tử hóa kích thước nano để điều trị khô mắt và viêm bờ mi. Công nghệ này thúc đẩy hấp thụ, giảm triệu chứng khô mắt và cải thiện vi tuần hoàn quanh mắt. Trong y học hô hấp, công nghệ nguyên tử hóa siêu âm hỗ trợ bọt khí nano có thể trực tiếp nguyên tử hóa thuốc và bọt khí nano thành các sol khí mịn, tăng cường lắng đọng trong phổi và được sử dụng để điều trị các tình trạng như nang phổi.

Công nghiệp: Các ứng dụng bao gồm pin nhiên liệu, pin quang điện màng mỏng, lớp phủ năng lượng mặt trời màng mỏng, pin mặt trời perovskite, lớp phủ graphene, lớp phủ kính và mạch điện tử, cho phép phủ màng mỏng quy mô dưới micron và nanomet có độ đồng nhất cao.

Cảnh quan: Trong các khu vườn cảnh quan và không gian thương mại, các mô-đun nguyên tử hóa siêu âm có thể tạo ra hiệu ứng sương mù bao phủ, tăng độ ẩm không khí và cải thiện vi khí hậu trong nhà. Chúng cũng có thể được kết hợp với hiệu ứng ánh sáng để tạo ra một cảnh tượng sương mù ngoạn mục, thay đổi màu sắc.

Đầu phun phun siêu âm so với đầu phun phun truyền thống về hiệu quả như thế nào?
Đầu phun phun siêu âm vượt trội hơn đầu phun phun truyền thống về hiệu quả tổng thể, đặc biệt đối với các tình huống phủ có độ chính xác cao như ứng dụng quang trở.

Ưu điểm hiệu quả cốt lõi của đầu phun phun siêu âm

Hiệu suất sử dụng vật liệu cao hơn: Chúng nguyên tử hóa quang trở thành các giọt siêu nhỏ/nano có kích thước đồng nhất, giảm lãng phí từ 30-60% so với đầu phun truyền thống (ví dụ: loại dẫn động bằng áp suất) thường tạo ra các giọt không đều hoặc phun quá mức.
Độ đồng nhất lớp phủ vượt trội: Rung động siêu âm cho phép phân phối giọt nhất quán, giảm thiểu sự thay đổi độ dày (thường trong khoảng ±5% so với ±10-15% đối với đầu phun truyền thống), giúp giảm thiểu việc làm lại và cải thiện năng suất quy trình.
Tiêu thụ năng lượng thấp hơn: Nguyên tử hóa siêu âm dựa vào rung động tần số cao thay vì áp suất hoặc luồng khí cao, giảm 20-40% năng lượng tiêu thụ trong khi vẫn duy trì hiệu suất phun.

Hạn chế so với đầu phun truyền thống

Khả năng áp dụng hẹp hơn cho vật liệu có độ nhớt cao: Đầu phun áp suất truyền thống xử lý chất lỏng đặc hơn hiệu quả hơn, trong khi loại siêu âm hoạt động tốt nhất với quang trở có độ nhớt thấp đến trung bình.
Chi phí ban đầu cao hơn: Đầu phun siêu âm có chi phí đầu tư ban đầu cao hơn, mặc dù điều này được bù đắp bởi tiết kiệm vật liệu và năng lượng dài hạn trong sản xuất hàng loạt.

Đầu phun phun siêu âm mang lại một số lợi thế so với đầu phun phun truyền thống về hiệu quả. Dưới đây là một số điểm so sánh chính:

1. Hiệu quả nguyên tử hóa: Đầu phun phun siêu âm có hiệu quả cao trong việc nguyên tử hóa chất lỏng thành các giọt mịn. 

2. Giảm phun quá mức: Đầu phun phun truyền thống thường tạo ra một lượng lớn phun quá mức, là lượng chất lỏng bị mất không đến được mục tiêu dự kiến. 

3. Chất lượng lớp phủ: Đầu phun phun siêu âm đặc biệt có lợi trong các ứng dụng yêu cầu lớp phủ chất lượng cao. 

4. Tiết kiệm vật liệu: Do hiệu quả nguyên tử hóa và giảm phun quá mức, đầu phun phun siêu âm có thể giúp tiết kiệm chi phí vật liệu. 

5. Tính linh hoạt: Đầu phun phun siêu âm có thể xử lý nhiều loại chất lỏng, bao gồm dung dịch gốc nước, dung môi, huyền phù và chất lỏng có độ nhớt. 

Cần lưu ý rằng đầu phun phun truyền thống có những ưu điểm riêng trong một số trường hợp nhất định, chẳng hạn như các ứng dụng lưu lượng cao hoặc các tình huống mong muốn các giọt lớn hơn. Việc lựa chọn giữa đầu phun phun siêu âm và đầu phun phun truyền thống phụ thuộc vào yêu cầu cụ thể của ứng dụng và kết quả mong muốn về hiệu quả, chất lượng lớp phủ và tiết kiệm vật liệu.

Bạn có thể cung cấp các ví dụ về các ngành hoặc ứng dụng mà đầu phun phun siêu âm thường được sử dụng không?

 

Hệ thống phun siêu âm
Thiết bị phun siêu âm có khả năng tự làm sạch, có thể tránh ô nhiễm thành bên trong ống lấy máu trong quá trình phun, và cũng có thể tránh ô nhiễm đầu phun của chính nó, và có thể được phun và sử dụng theo chu kỳ. Hệ thống phun siêu âm có thể lập trình số lượng, khoảng cách, độ dày và các thông số khác của quá trình phun, để đảm bảo độ chính xác của hiệu quả phun. Thiết bị phun siêu âm có thể tiết kiệm nguyên liệu, và tỷ lệ sử dụng nguyên liệu lên tới 85%. Máy phun nguyên tử hóa siêu âm công nghiệp có thể dễ dàng tích hợp vào các dây chuyền sản xuất hiện có để phun hiệu quả với chất lượng đầu ra nhất quán.

Là một công nghệ đã được chứng minh trong công nghiệp, phun siêu âm đã được áp dụng thành công cho các dây chuyền phủ màng hiệu suất cao trong sản xuất các thiết bị điện tử chính xác như bán dẫn, thiết bị chính xác, ứng dụng công nghệ nano, pin nhiên liệu và pin mặt trời. Trong quá trình phun siêu âm, kích thước và phân bố của các giọt có thể được kiểm soát chính xác, dẫn đến các hạt có diện tích bề mặt lớn.

Bạn có thể cung cấp video làm việc của đầu phun không?